UV 경화 시스템 U-200 최대 8" 웨이퍼 및 프레임
경화 시스템은 최대 8"의 웨이퍼와 프레임을 경화하도록 제작되었습니다.
LED는 최대 750mW의 광 출력으로 365nm의 파장을 생성합니다.
사용과정
1) 덮개를 열고 왼쪽 컨베이어에 웨이퍼를 놓습니다.
2) 시작 버튼을 누르십시오.
- 웨이퍼는 LED 유닛을 넘어 오른쪽으로 이동합니다.
- 경화는 약 20-30초 후에 완료되며 시간당 130-180프레임의 일관된 처리량을 산출합니다.
- 완전히 조정 가능한 경화 시간 범위는 15초에서 3분 사이입니다.
주요 특징들:
낮은 조달 비용 = 최저 총 소유 비용(COO)!
유해한 오존 발생 없음
제로 워밍업 시간
UV - LED
의 긴 수명 ( 10,000 시간 이상)
낮은 강도 강하 ( 10,000 시간에 5%)
필름 에 열 영향 없음
컴팩트하고 견고한 테이블 디자인
짧은 설치 및 구현 시간
낮은 유지 보수 비용
IEC
204-1 안전 표준 준수
생산성 130-180
웨이퍼 /시간 .
옵션:
질소 샤워
크린룸에 적합한 수납공간이 있는 서포트 테이블
경화 시간/처리량
- 완전히 조정 가능한 경화 시간 범위는 15초 ~ 80초.
- 일반적인 처리량 45-240 wafer/hour (UV 테이프 유형에 따라 다름)
- 요청 시 매거진에서 매거진으로 자동화
크기, 무게 및 웨이퍼 크기 U-200 / U-300
폭: 400mm / 460mm
높이: 170mm / 170mm
길이: 695mm / 1000mm
무게: 18kg / 35kg
웨이퍼 크기: 최대 8" / 최대 300mm
프레임 크기: 최대 8" / 최대 300mm
전기
주 전원 110-240VAC, 50/60Hz
소비 전력 120W / 180W
UV LED
파장 365nm
+/- 3nm
최대 광출력 750mW
투여량(컨베이어 속도에 따라 다름) 최대 1200mJ/cm2
설치된 고출력 UV LED 수 : 48 / 72
기타
IEC
204-1에 따라 구축
CE 마킹
